PVD法

PVDはphysical vapor deposi-tionの略。物理蒸着法ともいう。表面処理の一つ。真空中で蒸発させ材料表面に蒸着させること。PVD法には、真空蒸着・イオンプレーティング・スパッタリングなどがある。比較的低温で処理ができ材料が軟化せず、寸法が変化しない。蒸着速度は高いが、裏側や穴への蒸着はできず、コストも高い。
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